185749
G01N1/32
Заявка: 2018125334, 10.7.2018
Опубликовано: 17.12.2018. Бюл. № 35
Авторы: К.Л. Афанасьев, А.Ю. Фроликова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОСОГО ШЛИФА
Формула полезной модели
Устройство для изготовления косого шлифа, состоящее из пуансона, пресс-шайбы в виде цилиндра, на одном из оснований которого выполнена плоская фаска под углом косого шлифа, исследуемого полупроводникового кристалла, наклеенного на сегмент плоскопараллельной пластины из того же материала, что и исследуемый полупроводниковый кристалл, причем сегмент наклеен на плоскость фаски по линии пересечения плоскости фаски с основанием цилиндра, а его прямолинейный край совмещен с линией пересечения плоскости фаски и основания пресс-шайбы, отличающееся тем, что на сегменте плоскопараллельной пластины химическим травлением сформирована сетка, состоящая из взаимно перпендикулярных канавок глубиной h и шагом b, причем 40 мкм ≤ h≤80 мкм, b≤0,5а, где а - минимальный линейный размер полупроводникового кристалла в плоскости шлифа.
