180846
C01R1/073, H01L21/66
Заявка: 2018110228, 22.3.2018
Опубликовано: 28.6.2018. Бюл. № 19
Авторы: Н.А. Брюхно, И.В. Куфтов, В.В. Огнев, А.Ю. Фроликова
Патентообладатель: ЗАО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
ЗОНД ДЛЯ ЗОНДОВОГО КОНТРОЛЯ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ КРИСТАЛЛОВ НА ПЛАСТИНЕ
Формула полезной модели
Зонд для зондового контроля высоковольтных кристаллов на пластине, состоящий из стрежня для подачи напряжения и штуцера для подачи осушенного газа, отличающийся тем, что стержень выполнен полым, а штуцер для подачи осушенного газа присоединен к полости стрежня.
